Time Machineのバックアップファイルがゴミ箱から削除できない。

1年前の古いバックアップファイル（20コ）を削除して、ゴミ箱を「空にする」をしたところ、「項目“Library”が使用中のため、操作を完了できません」というメッセージが表示されてゴミ箱から削除できません。（Libraryの部分がSystem、folders、usrなどに変わります）

データ自体は削除されているようなのですが、Library、Systemなどの空のフォルダーだけが残っているように見えます。

余計なことをしたのはわかっているのですが、ゴミ箱を空にしようとすると、毎回このメッセージが延々と100回くらい出てくるので困っています。解決方法があれば教えてください。